IN LINE
In Line Sputter 1st, 2nd | |
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적용기재 | Glass, Plastic sheet, Wafer substrate.. 등 |
금속물질 | Al, Ti, Cr, Cu, NiCr, NiCu, Ni, Ag,Mo 기타 금속물질 |
반응성물질 | CuOx, TiO2, Nb2O5,SiO2, ITO, SiAlOx, MoOx 및 기타 질화/산화물 |
Sputter 형태 | Sputter + PECVD Hybrid coating |
In Line Sputter 4th | |
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적용기재 | Glass, Plastic sheet, Wafer substrate.. 등 |
금속물질 | Al, Ti, Cr, Cu, NiCr, NiCu, Ni, Ag,Mo 기타 금속물질 |
반응성물질 | CuOx, TiO2, Nb2O5,SiO2, ITO, SiAlOx, MoOx 및 기타 질화/산화물 |
Sputter 형태 | Sputter + PECVD Hybrid coating |
ROLL TO ROLL
Roll to Roll Sputter | |
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적용기재 | Glass, Plastic sheet, Wafer substrate.. 등 |
금속물질 | Al, Ti, Cr, Cu, NiCr, NiCu, Ni, Ag,Mo 기타 금속물질 |
반응성물질 | CuOx, TiO2, Nb2O5,SiO2, ITO, SiAlOx, MoOx 및 기타 질화/산화물 |
Sputter 형태 | Sputter + PECVD Hybrid coating |